| クリーニング方式はクリーニングローラーと粘着ローラー、挿入／排出口に装備された除電バーで構成されています。基板表面に付着したゴミと粒子のほとんどは静電気が原因です。クリーニングする前に除電バーで静電気を中和し、基板と異物を電気的に分離させ、その後特殊処理されたクリーニングローラーで異物を取り除きます。異物の再付着を防止する為に最後にもう一度除電バーを通過させ、さらに静電気を取り除きます。 |
| 特殊高分子を主成分としたクリーニングローラーはクリーニングする表面に影響を与えません。また帯電防止能力も備えており、ローラー自体からのホコリやゴミの再付着も抑制します。 |
クリーンシスは誰にでも操作が行えるシンプルオペレーションです。粘着ローラーの交換も非常に簡単です。
また、オートフィーダーとコーターとの間に設置し、ワークフローにジャストフィットすることも可能です。
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